PECVD 石墨舟

港口：青岛港

包装：木箱

交货期：5-7天

最小起定量：100件

供货能力：10000件/月

作为太阳能电池片生产过程中关键环节之一，作为设备中硅片镀膜载体，石墨舟起到非常重要的作用。为形成具有高转化率的光伏电池组件，太阳集热器的涂层效果非常关键。为此，我们提供尺寸稳定性特种石墨材料，由它制成的精密载具有太阳能晶片提供精准定位。

石墨舟产品优势

1. 高精度的机械加工设备和良好的工艺流程，有力的保证了石墨舟的基本尺寸和良好的外观。

2. 用高纯石墨材料制作，杂质含量低，强度高，长期在高温下使用不变形。

3. 采用了消除“彩片”的生产技术，长期工艺生产中部产生“彩片”。

4. 能完全匹配CT、捷佳伟创、大族等厂家的炉子。

石墨舟清洗及使用维护

新舟的接收：

打开包装前须检查外包装是否完好、石墨舟石墨完整；外观、舟片及陶瓷组件是否有裂纹或断裂；组件有无缺失。发现外包装变形或损失以及上述问题的产品应及时联系供应商。

石墨舟的清洗：

1. 新舟在第一次使用前建议使用去离子水+氢氟酸溶液进行清洗约3-5小时；再用去离子水进行漂洗8-12小时；直到确认舟体没有酸性成分。可在漂洗后用PH试纸测试用过的水或洗过的舟，以确认清洗结果。然后按照要求进行烘干。

2. 使用后的石墨舟的清洗

石墨舟一般在使用100-150次左右需要对其表面的碳化硅进行清洗。建议使用浓度15-25%的氢氟酸溶液，分三个轮次来清洗，每次4-5小时；并在浸泡清洗过程中进行周期性氮气鼓泡，加半小时左右的冲洗；

注意：鼓泡不建议直接使用空气作为气源。酸洗后用纯水漂洗10小时左右，并确认舟体已经彻底清洗干净。请在清洗结束后检查舟的表面、石墨卡点与舟片结合处、以及其他部位是否还有氮化硅的残存。然后按照要求进行烘干。

清洗注意事项：

由于氢氟酸属于强腐蚀性物质并有一定的挥发性，对操作人员有一定的危险性。因此清洗岗位操作人员必须做好安全防护，并进行专人管理。建议在清洗时将舟拆开只对石墨部件进行清洗，这样能将各个接触部位清洗得更彻底。

石墨舟的烘干：

1. 建议使用有定时功能和循环排风的烘箱，这样烘烤的水蒸气可直接被抽调，以避免水蒸气因无法排出而妨碍石墨舟彻底烘干。

2. 清洗后的石墨舟应先进行风淋或至少吹干一段时间，确保舟表面没有水滴或水痕，再放进烘箱，请勿直接将刚清洗完的石墨舟放进烘箱。

3. 将烘箱温度设定在100-120摄氏度，运行和保持10-12小时，可结合生产周期确定一个固定的烘干时间段。

石墨舟的预处理：

进入PE炉管前应再次检查石墨舟是否完好。建议预处理（饱和）正常时间在200-240分钟；随着石墨舟清洗次数的增多及时间的增加，其饱和时间需要相应延长。

建议不要再空舟状态进行预处理，最好装上假片或废片；虽然操作程序较长，但可缩短预处理时间，并可延长舟的使用寿命。

石墨舟的维护：

1. 石墨舟的存放：石墨舟应存放在干燥清洁的环境中。由于石墨本身的空隙结构而使其具有一定的吸附性，潮湿或污染的环境会使得清洗烘干后的石墨舟容易再次污染或受潮。

2. 石墨舟组件陶瓷、石墨部件均属易碎材质，在搬运或使用过程中应尽量避免碰擦；若发现组件有断裂、裂纹、松脱等现象应及时予以更换和重新锁紧。

3. 石墨工艺卡点更换：根据使用频率及时间，以及电池片实际阴影面积的要求，应对石墨舟工艺卡点进行周期性更换。

技术参数如下：

石墨舟根据设备和工艺的要求，规格如下（125mm&156mm）

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